Las placas de sujección

Placas de apoyo utilizadas en el proceso de la farfulla son esenciales para crear una deposición de película delgada de calidad para su producto. Ofrecemos placas de respaldo en configuraciones estándar y dimensiones personalizadas para satisfacer sus requisitos específicos. También ofrecemos servicios de vinculación completa para proporcionar una solución completa.

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Detalles


Las placas de sujección



Haohai Metal preve contrachapas (cobre, molibdeno, cobre cromo, titanio, molibdeno etc.) planas, circular y cilíndricas (rotatorios) farfulla objetivos, pastas conductoras y almohadillas para Farfullar objetivo de enfriamiento y también ofrecen servicios de vinculación parte de nuestra amplia gama de servicios a la comunidad PVD.


Nuestras placas de respaldo son de los sistemas farfulla de los OEM, incluyendo Perkin-Elmer, MRC y CVC etcetera. Nuestras capacidades de mecanizado internos nos permiten fabricar una amplia gama de las placas de sujección a especificaciones del equipo original o dimensiones personalizadas cátodo.


Materiales
Placa deTubo
Libre de oxígeno cobre de alta conductividad térmica (OFHC)OO
MolibdenoOO
AluminioOO
Acero inoxidableOO
TitanioOO
Cobre estándar placa de respaldo para RF MagnetronOO
Poco carbono del hierro y cobre placa de respaldo para el magnetrón de la C.C.OO
Cobre mayor respaldo placa con agua serpentín de refrigeración pistaOX

O - disponible, X - no disponible



Cobre OFHC las placas de sujección


Mecanizado de cobre de alta conductividad libre de oxígeno.

-Para regular, circular-tipo de disco que farfulla fuentes

-Más fuentes de sputter aceptan 0.125"(1/8 pulg) espesor objetivo enlazado a un 0.125" espesor de la placa del forro

-Para alcanzar las metas de otros espesores, elegir el espesor de la placa de respaldo para ajustar el espesor total de 0.250"(1/4") para satisfacer la mayoría de las aplicaciones


NOTA:

-Los identificados en la tabla por el diámetro y espesor sólo son discos llano sin a través u orificios roscado.

-Son adecuados para circulares más fuentes de destino de otros fabricantes, aunque pueden necesitar menor mecanizado de tornillo, abrazaderas, etcetera.

-Cobre Copa contrachapas disponibles bajo petición.


Tamaño de la blancoMaterialesPrecio
Diámetro de 2" x. 125" de espesorCobre OFHCP.O.R
2" diámetro x. 250" gruesoCobre OFHCP.O.R
3" diámetro x. 125" de espesorCobre OFHCP.O.R
3" diámetro x. 250" gruesoCobre OFHCP.O.R
4'' diámetro x. 125" de espesorCobre OFHCP.O.R
4" diámetro x. 250" gruesoCobre OFHCP.O.R
6" diámetro x. 125" de espesorCobre OFHCP.O.R
6" diámetro x. 250" gruesoCobre OFHCP.O.R
8" diámetro x. 125" de espesorCobre OFHCP.O.R
8" diámetro x. 250" gruesoCobre OFHCP.O.R


Para obtener más información acerca de las placas de sujección por favor llame al + 86 3358 2330 o contáctenos en línea.




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